載入中……
[供應(yīng)]深圳威固特硅片晶圓超聲波清洗機(jī)
- 產(chǎn)品產(chǎn)地：深圳市龍華新區(qū)大浪街道華昌路鴻源工業(yè)區(qū)E棟一樓
- 產(chǎn)品品牌：威固特
- 包裝規(guī)格：VGT-15204FST
- 產(chǎn)品數(shù)量：2
- 計(jì)量單位：套
- 產(chǎn)品單價(jià)：0
- 更新日期：2018-07-16 11:02:51
- 有效期至：2019-07-16
-
-
- 收藏此信息
深圳威固特硅片晶圓超聲波清洗機(jī)
詳細(xì)信息
型號(hào)：VGT-15204FST
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、械手或多機(jī)械手組合，實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。
3、自動(dòng)上下料臺(tái)，準(zhǔn)確上卸工件。
4、凈化烘干槽，獨(dú)特的烘干前處理技術(shù)，工作干燥無(wú)水漬。
5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。
6、具備拋動(dòng)清洗功能，保證清洗均勻。
7、全封閉清洗均勻。
8、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。
應(yīng)用范圍：
1、爐前清洗：擴(kuò)散前清洗。
2、光刻后清洗：除去光刻膠。
3、氧化前自動(dòng)清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動(dòng)清洗：除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?
7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層。
8、擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗：除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。
9、CVD后清洗：除去CVD過(guò)程中的顆粒。
10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污
技術(shù)參數(shù)：
超聲波功率：10.2KW
超聲波頻率：28，40，60KHZ
換能器數(shù)量：204個(gè)
電源電壓：220V
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
硅片晶圓生產(chǎn)清洗工藝中，使用超聲波清洗機(jī)有效去除硅片晶圓表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。清洗硅片晶圓同時(shí)也采用了：三套獨(dú)立的電腦控制機(jī)械臂自動(dòng)化作業(yè)；第三代最新技術(shù)，全面完善的防酸防腐措施，保護(hù)到機(jī)器每一個(gè)角落；獨(dú)特的硅片干燥前處理技術(shù)，保證硅片干燥不留任何水痕；成熟的硅片干燥工藝，多種先進(jìn)技術(shù)集于一身。
同類型其他產(chǎn)品
免責(zé)聲明：所展示的信息由企業(yè)自行提供,內(nèi)容的真實(shí)性、和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé),浙江民營(yíng)企業(yè)網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
友情提醒：普通會(huì)員信息未經(jīng)我們?nèi)斯ふJ(rèn)證，為了保障您的利益，建議優(yōu)先選擇浙商通會(huì)員。
浙江民營(yíng)企業(yè)網(wǎng) www.yf-hotel.com.cn 版權(quán)所有 2002-2010