油式真空泵是用真空泵油來潤滑的，真空泵油在旋片式真空泵里面不僅起潤滑作用，還起到密封作用，真空泵的壓力和流量都是要靠真空泵油的正常運轉來保證的。真空泵油在運轉時，通過真空泵油管把油箱里面的真空泵油帶到泵體，在泵體里面運轉后再通過回油管回流到油箱里面，因為真空泵運轉時溫度會達到70-105度，部分真空泵油會變成油氣，隨著尾氣排到排氣口，通過沒有失效的油霧分離器（排氣過濾器）過來下來，又回流到真空泵油箱里。要保證真空泵不因缺油而卡死，我們就要保證真空泵油油量要足，管道通暢，真空泵油不乳化，不產生淤泥能夠在真空泵里面流動。